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阳极氧化Ta2O5薄膜电容制作工艺研究
阳极氧化Ta2O5薄膜电容制作工艺研究
被引量 : 0次 | 上传用户:jerrymao
【摘 要】
:
本文采用厚光刻胶作为阳极氧化掩膜对磁控溅射Ta薄膜进行阳极氧化,阳极氧化电压可达到200VDC,增加了介质层的厚度从而提高薄膜电容的击穿电压。并根据测试结果计算了阳极氧化
【作 者】
:
宋振国
王斌
【机 构】
:
中国电子科技集团公司第四十一研究所;
【发表日期】
:
2017年期
【关键词】
:
薄膜电容
阳极氧化
Ta2O5薄膜
击穿电压
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本文采用厚光刻胶作为阳极氧化掩膜对磁控溅射Ta薄膜进行阳极氧化,阳极氧化电压可达到200VDC,增加了介质层的厚度从而提高薄膜电容的击穿电压。并根据测试结果计算了阳极氧化Ta
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O
5
薄膜的厚度和阳极氧化电压之间的关系、阳极氧化Ta
2
O
5
薄膜的介电常数,为电路设计者提供依据。
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