非晶硅薄膜用于液晶光阀光导层的电学性能研究

来源 :第五届全国固体薄膜学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liang630223
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该文详细研究了液晶光阀光导层用的非晶硅薄的电阻,电容特性。发现薄膜在直流状态下具有良好的光电性能,亮、暗电阻比可达10〈’2.5〉;交流状态下,随频率改变,电容变化不大,电阻变化较大,低频时,薄膜主要表现电阻特性,高频时为电容特性,由此确定光阀的合适工作频率为低频状态,并且证实薄膜阻抗完全符合光阀对比度对材料的要求。
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