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本文研制了两套薄膜单轴拉伸装置,一套用于AFM,一套用于SEM.结合数字图像相关法、数字散斑双曝光法和显微标记法,可以实现薄膜微区域变形场的原位检测.运用研制的检测设备分别对1.5μm厚NiFe膜和5μm厚Au膜进行了单轴拉伸实验,获得了检测微区域的变形。
扫描显微环境下微拉伸加载装置研制
【摘 要】
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本文研制了两套薄膜单轴拉伸装置,一套用于AFM,一套用于SEM.结合数字图像相关法、数字散斑双曝光法和显微标记法,可以实现薄膜微区域变形场的原位检测.运用研制的检测设备分别对1.5μm厚NiFe膜和5μm厚Au膜进行了单轴拉伸实验,获得了检测微区域的变形。
【机 构】
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清华大学工程力学系FML,北京,100084
【出 处】
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第十一届全国实验力学学术会议
【发表日期】
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2005年4期
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