【摘 要】
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由于基于光强传输方程的相位恢复技术对照明方式、记录系统和样本有一定的选择性,本文通过理论分析和数值模拟分析了光强传输方程相位恢复的适用条件,并通过实验验证了适用条件的有效性.分析认为相位恢复技术需满足照明光的广义相位为常数;记录系统为远心光路结构;样本为光通过时强度变化较小的物体.利用4f记录系统和无限远校正光学显微镜系统对微刻玻璃样本进行了验证实验.结果显示:4f系统恢复的微刻玻璃样本的平均深度
【机 构】
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上海大学精密机械工程系,上海200072
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由于基于光强传输方程的相位恢复技术对照明方式、记录系统和样本有一定的选择性,本文通过理论分析和数值模拟分析了光强传输方程相位恢复的适用条件,并通过实验验证了适用条件的有效性.分析认为相位恢复技术需满足照明光的广义相位为常数;记录系统为远心光路结构;样本为光通过时强度变化较小的物体.利用4f记录系统和无限远校正光学显微镜系统对微刻玻璃样本进行了验证实验.结果显示:4f系统恢复的微刻玻璃样本的平均深度为1.41μm,与激光共聚焦显微镜的测量结果1.59 μm偏差较大;显微镜系统恢复的微刻玻璃样本的平均深度为1.56μm,与激光共聚焦显微镜的测量结果1.59 μm比较吻合.实验证明,4f记录系统和无限远校正光学显微镜系统可以有效恢复出物体的相位,且显微镜系统恢复的相位质量更高.
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