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高纯氨和高纯三甲基镓是金属有机化学气相淀积的关键支撑材料.本文研究高纯氨和高纯三甲基镓的纯化工艺,净化技术以及金属杂质的检测.
高纯氨和高纯三甲基镓规模化生产技术
【摘 要】
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高纯氨和高纯三甲基镓是金属有机化学气相淀积的关键支撑材料.本文研究高纯氨和高纯三甲基镓的纯化工艺,净化技术以及金属杂质的检测.
【机 构】
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大连保税区科利德化工科技开发有限公司
【出 处】
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中国有色金属学会第八届全国MOCVD学术会议
【发表日期】
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2003年期
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