【摘 要】
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干式真空泵为IC 装备、薄膜电子、制药化工、科研仪器等行业提供洁净的真空环境，其内部稀薄气体传输过程极其复杂。研究具有高可靠性的干泵设计理论，是解决困扰国内真空泵制造业的巨大难题。本文从干泵转子型线设计、稀薄气体输送、多物理场耦合、运转态分析等多个方面，探讨了面向干泵类产品的多维度、运转态集成设计的新方法，开发了参数化转子设计软件，建立多场耦合的分析方法，搭建了干泵理论分析设计平台。本文的研究内容
【机 构】
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东北大学 机械工程与自动化学院 真空与流体工程研究所,辽宁沈阳,110819 中国科学院沈阳科学仪
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干式真空泵为IC 装备、薄膜电子、制药化工、科研仪器等行业提供洁净的真空环境，其内部稀薄气体传输过程极其复杂。研究具有高可靠性的干泵设计理论，是解决困扰国内真空泵制造业的巨大难题。本文从干泵转子型线设计、稀薄气体输送、多物理场耦合、运转态分析等多个方面，探讨了面向干泵类产品的多维度、运转态集成设计的新方法，开发了参数化转子设计软件，建立多场耦合的分析方法，搭建了干泵理论分析设计平台。本文的研究内容，对于解决日益拓展的真空干泵应用工艺问题，解决了长期困扰国产干泵的技术瓶颈，具有一定的借鉴意义。
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大科学工程项目“稳态强磁场实验装置”的混合磁体将为众多学科领域的科学研究提供强磁场极端实验环境.混合磁体外超导磁体由管内电缆导体(CICC)绕制而成，由氦低温系统提供4.5K 超临界氦进行迫流冷却.氦低温系统主要由氦制冷机、低温分配阀箱和低温传输管线组成，须高真空环境确保其绝热性能.本文将介绍氦低温系统各设备的真空应用、分析低温设备真空度与运行温度的关系、讨论分子泵在磁场下运行的磁屏蔽问题.
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