【摘 要】
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透射光栅作为一种重要的分光元件被广泛应用于软X射线波段的能谱测量当中,但要获得定量的软X射线能谱,就必需给出透射光栅各级光谱的绝对衍射效率.为了检测透射光栅在软X射线波段的各级衍射效率,本文中利用凹面反射光栅单色仪加激光等离子体光源组成一套软X射线波段单色系统,并以He空心阴极光源所发射的30.38nm、53.70nm、58.43nm三条谱线做为标准点,通过建立拟合曲线方程的方法对该单色系统进行波
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 国家光学机械质量监督检验中心 长春130033
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透射光栅作为一种重要的分光元件被广泛应用于软X射线波段的能谱测量当中,但要获得定量的软X射线能谱,就必需给出透射光栅各级光谱的绝对衍射效率.为了检测透射光栅在软X射线波段的各级衍射效率,本文中利用凹面反射光栅单色仪加激光等离子体光源组成一套软X射线波段单色系统,并以He空心阴极光源所发射的30.38nm、53.70nm、58.43nm三条谱线做为标准点,通过建立拟合曲线方程的方法对该单色系统进行波长标定.然后以背照射CCD (charge-coupled device)做为接收元件,对金自支撑式透射光栅在85～900eV能区范围内多个能量点进行了衍射效率的实验标定,获得了该透射光栅一级相对衍射效率和零级绝对衍射效率的标定结果.
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