【摘 要】
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介绍了近年来谐振式压力传感器的发展趋势.重点讨论了硅微结构谐振式压力传感器设计与研制中的一些关键技术问题.针对一种以方形硅膜片为一次敏感元件,硅梁谐振子为二次敏感
【机 构】
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北京航空航天大学自动化学院测控技术与仪器系(北京)
【出 处】
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2001年全国新型传感器及其应用研讨会
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介绍了近年来谐振式压力传感器的发展趋势.重点讨论了硅微结构谐振式压力传感器设计与研制中的一些关键技术问题.针对一种以方形硅膜片为一次敏感元件,硅梁谐振子为二次敏感元件的压力微传感器,建立了其数学模型、设计了一组敏感结构参数:方形膜边长4mm,膜厚0.1mm;梁谐振子长1.3mm,宽0.08mm,厚0.007mm;方形膜的边界结构部分的内宽度1mm,厚度1mm.讨论了谐振式微传感器的闭环自激系统;建立了微传感器的温度场模型,讨论了其热特性.
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