【摘 要】
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1/4弯管型弯曲电弧磁过滤装置是去除真空阴极电弧沉积中宏观颗粒,获得高质量真空电弧沉积薄膜的最常用的手段。本文用有限元分析的方法,模拟了磁场在该类装置中的磁场,给出了
【机 构】
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北京航空航天大学机械学院,材料加工与控制系; 香港城市大学物理及材料系;
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1/4弯管型弯曲电弧磁过滤装置是去除真空阴极电弧沉积中宏观颗粒,获得高质量真空电弧沉积薄膜的最常用的手段。本文用有限元分析的方法,模拟了磁场在该类装置中的磁场,给出了1/4弯管常用磁场的分布规律,讨论了磁场在1/4弯管型弯曲电弧磁过滤装置中对等离子体传输的作用。针对影响传输效应的磁场的最主要的两个特性——磁场强度和磁场方向进行了着重的探讨。研究表明,为了获得最佳的等离子体传输效率,弯管的小半径,弯管磁场的磁场电流、磁场磁力线的分布以及磁场线圈的横截面都是影响等离子体传输的重要参数,需要综合考量。
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