【摘 要】
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由于具有低成本、高生产效率等优点,大气压射频辉光放电(radio frequency atmospheric pressure glow discharge)已在大规模集成电路、材料表面改性及生物杀菌等领域得到广泛应用.然而,射频辉光放电过高的频率会导致放电不稳定,容易发生放电模式的转换:由均匀的辉光放电变成高温的弧光放电,不利于处理对温度敏感的材料,限制了大气压射频放电在工业生产中的应用.实验上
【机 构】
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大连理工大学物理与光电工程学院,大连
【出 处】
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第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会
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由于具有低成本、高生产效率等优点,大气压射频辉光放电(radio frequency atmospheric pressure glow discharge)已在大规模集成电路、材料表面改性及生物杀菌等领域得到广泛应用.然而,射频辉光放电过高的频率会导致放电不稳定,容易发生放电模式的转换:由均匀的辉光放电变成高温的弧光放电,不利于处理对温度敏感的材料,限制了大气压射频放电在工业生产中的应用.实验上已采用脉冲调制射频的方法来提高放电的稳定性,但其放电机理还有待进一步研究.
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