大型中频磁控溅射镀膜机制备高档CrC黑色装饰膜的研究

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本文使用大型中频磁控溅射设备,制备了高品质CrC涂层,研究了阴极靶面磁场强度对涂层颜色均匀性和耐磨性的影响,乙炔进气方式、氩气流量、偏压和占空比等参数对涂层颜色分布均匀性的影响。结果表明,较弱磁场下沉积的涂层,耐摩擦性能明显优于强磁场的耐磨性。C2H2的进气方式对于调节"靶中毒"有非常重要的作用,适当的C2H2进气速度可以减轻"靶中毒"不均匀的程度,有利于提高颜色的均匀性;本实验中,Ar流量的大小对于颜色值及其均匀性未见明显影响;偏压和占空比对于颜色值和均匀性有类似的影响,本实验中,偏压/占空比的提高有利于提高L值和b值,降低a值,同时提高颜色分布的均匀性。
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