【摘 要】
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本研究利用沉積TiO2薄膜於軟性基板前,加裝自行設計之夾治具控制PET基板之預應變大小,用以模擬迴轉式磁控沉積系統之PET基板承受張力時,TiO2薄膜之機械性質變化。其夾治具的
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本研究利用沉積TiO2薄膜於軟性基板前,加裝自行設計之夾治具控制PET基板之預應變大小,用以模擬迴轉式磁控沉積系統之PET基板承受張力時,TiO2薄膜之機械性質變化。其夾治具的原理為兩端夾持PET基板,並以螺桿調整夾頭之距離,轉換為基板之預應變大小。其作法為鍍膜前於PET基板上施加四種預應變(0%、2%、4%和6%),然後進行沉積TiO2薄膜,觀察其成膜品質與機械性質之影響。實驗結果顯示隨著PET基板之預應變的增加,TiO2薄膜之殘留應力隨之增加且試片之彎曲半徑隨之減少。當PET基板之預應變較大時,表面粗糙度趨於增加。其表面粗糙度變大的原因是TiO2薄膜內之空孔數量變多。TiO2薄膜內之平均空孔尺寸/空孔厚度會隨著PET基板之預應變增加而增加。由於TiO2層之空孔數量增加,其硬度與和彈性模數皆會降低。
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