【摘 要】
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采用酸性电镀铜工艺实现盲孔全铜填充是获得高性能3D互连的重要方法,需要电镀液具有高的分散能力和填充能力.添加剂是决定电镀液填充能力的重要因素.本文旨在优化三元镀铜添
【机 构】
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安捷利实业有限公司,中国,511458
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采用酸性电镀铜工艺实现盲孔全铜填充是获得高性能3D互连的重要方法,需要电镀液具有高的分散能力和填充能力.添加剂是决定电镀液填充能力的重要因素.本文旨在优化三元镀铜添加剂的配比以获得积层板中的一种准梯形盲孔的全铜填充.研究发现,通过适当提高加速剂的浓度,并相应降低整平剂的浓度,可以实现准梯形盲孔的全铜填充,并且就添加剂的相关机理进行讨论.
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