论文部分内容阅读
将薄膜电容、电阻、电感等无源元件同微带电路导体集成一体化是微波电路向毫米波频段发展的重要工艺手段.实验应用薄膜制造设备,选择适当的材料,把握关键工艺参数可以实现薄膜电容的集成.文章分析了薄膜电容针孔短路和膜层附着力等问题,并提出了相应的解决办法.
集成薄膜电容一体化工艺研究
【摘 要】
：
将薄膜电容、电阻、电感等无源元件同微带电路导体集成一体化是微波电路向毫米波频段发展的重要工艺手段.实验应用薄膜制造设备,选择适当的材料,把握关键工艺参数可以实现薄
【机 构】
：
信息产业部电子29所
【出 处】
：
第十二届全国混合集成电路学术会议
【发表日期】
：
2001年期
其他文献
沪市活力２８(６００７０３) :沪市涨幅第一资产重组题材。该公司曾经是较知名的洗涤用品厂家 ,但近年来经营陷入困境。该公司第一大股东荆州市国资局将所持公司５４２９．７万股国家股以每股１．１０元的价格全部
近些年，我国经济在高速发展的同时，环境污染状况也在不断加剧，严重制约了经济的发展。为了践行科学发展观，我国鼓励大力植树造林，保护生态环境。目前，我国很多乡镇也在积极发展林业
社会不断发展，加快城市化发展进程，城乡建设是城市化建设主要内容，对社会长远发展具有较大影响。为了做好城乡建设工作，获得预期城乡建设效果。在实际城乡建设期间，需保证规划合理
Ni-Zn铁氧化性能除受配方,原材料的理化特性影响外,还与生产工艺联系较为密切,本文采用砂磨制浆代替球磨,用喷雾造粒代替机械造粒,并对两种工艺条件下的各种参数及磁性能进行
在建筑行业迅猛发展的背景下,土木工程需求两也越来越高,土木工程施工中,混凝土施工是关键环节,混凝土施工有着周期长、环节复杂、影响因素多等特点,在施工的过程中需要合理
随着我国经济的不断发展,人们对建筑的要求发生了显著提高.在这种背景中,文化主题建筑逐渐成为一种能够有效满足人们审美需求和使用需求的建筑类型.本文从扬州文化的体现入手
PO在铁氧体中主要起细化晶粒,使铁氧体细密化的作用.而PO溶于水而生成中强酸,所以在干磨与水磨两种不同的工艺上,PO对铁磨氧体的性能和晶相显示了不同的作用和结果.
孔金属化技术在混合集成电路中的应用十分广泛,它对减小电路串扰和插入损耗、增加电路散热和可靠性方面具有较大的价值.笔者从工艺的角度出发,应用薄膜制造技术对孔金属化的
建筑施工内容十分复杂，其中防止建筑物漏水、渗水而采取的技术称为建筑防水技术。当前城市发展以及新农村改造中建筑样式的多元化，对建筑施工防水要求逐渐提高。论文针对建筑施
随着城市建设脚步的加快，城市规划与城市设计已经成为城市发展的关键，城市设计是落实城市规划，指导建筑设计、塑造城市特色风貌的重要手段。因此，城市设计要根据城市的现状，从人性