【摘 要】
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采用干式机械泵组成真空脱气系统,保证真空槽内的实际真空度达到67pa以下.该真空系统采用四级机械泵,每级并联,各级总体串联的设计方式,保证各级合理压缩比;每级设计能力高于要求值20%,保证系统正常高效运行.系统配备高效除尘过滤系统,滤后粉尘浓度降至5mg/m3以下.该系统运用电气自动化系统,可根据需求调整泵的抽气能力;实时监测系统运行情况;通过对检测数据的分析,预判系统可能出现的情况.
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采用干式机械泵组成真空脱气系统,保证真空槽内的实际真空度达到67pa以下.该真空系统采用四级机械泵,每级并联,各级总体串联的设计方式,保证各级合理压缩比;每级设计能力高于要求值20%,保证系统正常高效运行.系统配备高效除尘过滤系统,滤后粉尘浓度降至5mg/m3以下.该系统运用电气自动化系统,可根据需求调整泵的抽气能力;实时监测系统运行情况;通过对检测数据的分析,预判系统可能出现的情况.
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