紫外光照射下ZnO微纳有序多孔薄膜对NO2的气敏特性研究

来源 :第十四届全国敏感元件与传感器学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：gpm

【摘要】

：

采用基于有机模板的溶液浸渍—无损转移法制备氧化锌(ZnO)微纳多孔有序薄膜,研究了在不同紫外光强度照射下和不同尺寸孔径的氧化锌(ZnO)微纳多孔有序薄膜对二氧化氮(NO2)气敏

【作者】

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苏星松许宗珂段国韬蔡伟平

【机构】

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中国科学院固体物理研究所,安徽,合肥230031;中国科学技术大学,安徽,合肥230026中国科学院固体物理研究所,安徽,合肥230031

【出处】

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第十四届全国敏感元件与传感器学术会议

【发表日期】

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2016年10期

【关键词】

：

氧化锌微纳有序多孔薄膜制备工艺灵敏度气敏性能氮氧化物

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采用基于有机模板的溶液浸渍—无损转移法制备氧化锌(ZnO)微纳多孔有序薄膜,研究了在不同紫外光强度照射下和不同尺寸孔径的氧化锌(ZnO)微纳多孔有序薄膜对二氧化氮(NO2)气敏性能的影响.结果表明,以500nm聚苯乙烯(PS)球为模板制备的ZnO微纳多孔薄膜传感器,在0.35mW/cm3紫外光照射下具有较高的灵敏度和较快的响应和恢复时间.随着紫外光强度的增强和孔径尺寸的增大,ZnO微纳多孔薄膜传感器的灵敏度降低;且在紫外光照射下ZnO微纳有序多孔薄膜对乙醇,甲醛、H2S、SO2和CH4等气体具有很好选择性.

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