【摘 要】
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本文对离子注入在氧化物晶体中微颗粒的形成进行了研究。不同晶面(0001)、(101-0)、(011-2)和(112-0)的α-Al2O3晶体分别在室温及100K温度下进行Ti+、Cu+、Nb+，CuCl+等的离子注入，然后在还原气氛下进行500～1100℃的热退火。对退火前后的试样形貌进行AFM观察发现，晶体表面离子轰击引起的择优溅射效应形成岛状特征的表面形貌，嶙峭的岛形特征经退火后变得平滑，且小
【机 构】
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辐射物理及技术教育部重点实验室，四川大学原子核科学技术研究所，成都 610064
【出 处】
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2005年景德镇高技术陶瓷国际论坛
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本文对离子注入在氧化物晶体中微颗粒的形成进行了研究。不同晶面(0001)、(101-0)、(011-2)和(112-0)的α-Al2O3晶体分别在室温及100K温度下进行Ti+、Cu+、Nb+，CuCl+等的离子注入，然后在还原气氛下进行500～1100℃的热退火。对退火前后的试样形貌进行AFM观察发现，晶体表面离子轰击引起的择优溅射效应形成岛状特征的表面形貌，嶙峭的岛形特征经退火后变得平滑，且小岛的数目也随退火温度的提高而减少。注入试样经高温退火后形成的微颗粒呈现不同形状，似乎与注入离子种类有关。首次发现在一定的基体晶面及注入离子条件下，形成的微颗粒沿一定方向排列，且在此方向上呈现相同的间隔。此外，对离子注入的α-Al2O3晶体试样退火前后进行了光吸收及荧光谱的测量以及XPS的深度分析。
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