【摘 要】
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透明电极的制作是LED管芯制作过程的关键技术,而由于紫外LED在其不同波段范围对可见光和紫外辐射的透过和吸收作用不同,其透明电极的设计就显得更为复杂.本文主要通过对氧化
【机 构】
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西安中为光电科技有限公司,西安710065
【出 处】
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第十四届全国LED产业发展与技术研讨会
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透明电极的制作是LED管芯制作过程的关键技术,而由于紫外LED在其不同波段范围对可见光和紫外辐射的透过和吸收作用不同,其透明电极的设计就显得更为复杂.本文主要通过对氧化铟锡(indium-tin oxide,1TO)透明电极厚度的选取与ITO薄膜吸收性原理、薄膜增透性原理及方阻计算原理之间关系的分析,试验方法的设计,试验结果的比对,分析了ITO薄膜厚度的变化对紫外LED光电性能的影响,阐述了ITO透光电极在波长370-420nm的浅紫外波段的应用,供从事紫外LED管芯制造的同仁借鉴参考.
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