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本文介绍了SiGe/Si异质结双极晶体管的器件结构及主要工艺步骤.
SiGe/Si异质结双极晶体管开发与研制
【摘 要】
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本文介绍了SiGe/Si异质结双极晶体管的器件结构及主要工艺步骤.
【机 构】
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信息产业部电子二十四所
【出 处】
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第六届全国分子束外延学术会议
【发表日期】
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2001年6期
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