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介绍了我国多晶硅生产的发展趋势以及屏蔽泵在多晶硅装置中使用优势和出厂处理方案，在文章的最后列举了成功应用此项目的用户。
屏蔽泵在多晶硅装置中的应用
【摘 要】
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介绍了我国多晶硅生产的发展趋势以及屏蔽泵在多晶硅装置中使用优势和出厂处理方案，在文章的最后列举了成功应用此项目的用户。
【机 构】
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大连海密梯克泵业有限公司
【出 处】
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2011年全国石油化工机泵年会
【发表日期】
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2011年期
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