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SEM)形貌分析,并在动态真空系统中测试阴极的电子发射特性。试验结果表明浸渍阴极经过表面离子刻蚀和镀覆锇膜后,阴极发射性能得到显著提高,这将有利于延长阴极寿命并能够在空间行波管等微波器件中得到很好地应用。
浸渍阴极表面溅射覆膜工艺技术研究
【摘 要】
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SEM)形貌分析,并在动态真空系统中测试阴极的电子发射特性。试验结果表明浸渍阴极经过表面离子刻蚀和镀覆锇膜后,阴极发射性能得到显著提高,这将有利于延长阴极寿命并能够在
【机 构】
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中国科学院电子学研究所,北京100190
【出 处】
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2010全国荷电粒子源、粒子束学术会议
【发表日期】
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2010年6期
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