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本文研究了CAN总线技术在洁净室控制系统中的应用,介绍了CAN总线及CANopen协议的特点,并给出了洁净室控制系统的解决方案。从现场测试结果看,系统具有较好的稳定性和高精度的温度控制,满足半导体行业的生产要求。
基于CAN总线的洁净室控制系统设计与开发
【摘 要】
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本文研究了CAN总线技术在洁净室控制系统中的应用,介绍了CAN总线及CANopen协议的特点,并给出了洁净室控制系统的解决方案。从现场测试结果看,系统具有较好的稳定性和高精度的温度控制,满足半导体行业的生产要求。
【机 构】
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华东理工大学,上海,200237
【出 处】
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2005第六届工业仪表与自动化学术会议
【发表日期】
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2005年6期
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