固体材料放气量的测试及四极质谱仪分析

来源 :2009北京真空学会真空技术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:stinbi
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本文根据现有实验条件设计了静态升压法与动态抽气相结合的固体材料放气的测试系统。介绍了利用MKS公司的四极质谱仪对残余气体进行定性和定量分析的方法。通过实验来定性和定量分析、计算电容器中铝箔卷的放气特性,计算单位质量放气量及单位质量铝箔中水蒸气的放气速率。实验表明电工铝箔的放气成分主要是H2O、CO、CO2;H2O的放气速率随温度的升高而逐渐增加,在恒温时又随时间的增加而逐渐下降。
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