【摘 要】
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在扫描电镜(SEM)中采用加热台观察样品,是动态研究材料微结构及微织构变化的一种有效方法,如研究相变、再结晶转变及晶粒长大、氧化、气体反应、元素迁徙及材料和器件失效分
【机 构】
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北京工业大学固体微结构与性能研究所,北京100124北京工业大学固体微结构与性能研究所,北京100124;浙江大学电子显微镜中心,材料科学与工程学院,浙江杭州310027
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在扫描电镜(SEM)中采用加热台观察样品,是动态研究材料微结构及微织构变化的一种有效方法,如研究相变、再结晶转变及晶粒长大、氧化、气体反应、元素迁徙及材料和器件失效分析.与室温相比,高温成像面临较大困难:加热过程中样品表面发射出大量热电子和光子使SE发射不稳定,图像漂移,分辨率降低;加热使样品表面氧化、排气及污染等问题变得严重.
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