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本文对测量半导体样品电阻率的四探针法进行了介绍,详细讨论了直排四探针法和双电测四探针法的测量方法并给出了相应计算电阻率的公式,给出了直排四探针法厚度修正公式,比较了两类方法的优缺点。
四探针法在半导体测试技术中的应用
【摘 要】
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本文对测量半导体样品电阻率的四探针法进行了介绍,详细讨论了直排四探针法和双电测四探针法的测量方法并给出了相应计算电阻率的公式,给出了直排四探针法厚度修正公式,比较
【机 构】
：
天津职业大学;
【发表日期】
：
2004年期
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