弹性反冲探测分析技术(ERDA)对轻元素的测定具有灵敏度高、包含深度信息的优势,因此在材料氦行为研究中发挥着重要作用。镍基哈氏N 合金被认为是未来熔盐堆的结构材料,氦脆是其服役性能下降的主要因素之一。利用掠入射模式的ERDA,解析了哈氏N 合金样品中的氦原子浓度及其分布,但仅局限于0～175 nm 深度范围内。结果表明：在800℃ 的退火条件下,距离样品辐照表面～33 nm 深度区域内,出现了氦原子逃逸现象。更高温度的退火(1 050℃)可加剧氦原子的逃逸,但样品中仍有氦原子滞留。另外,采用透射式的ERDA,极大地扩大了对氦原子分析的深度范围,得到了纯镍薄膜在0～950 nm 深度区域内的氦原子浓度分布。这表明将块体材料制备成薄膜样品,利用透射模式的ERDA,将可以得到氦原子在更大范围内的扩散、逃逸行为。