基于检漏适应性的真空室设计

来源 :中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十八届年会暨中国计量测试学会真空计量专业委员会第十三届年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jldxxys
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  真空室是真空设备的主要部件之一。用于航天领域的空间环境模拟器的真空室是负压容器,承受的外压不超过一个大气压,一般由筒体、封头、门、法兰和管道组成。真空室的可检漏性能是真空设备的重要指标。真空室的结构本身应具有足够的强度和刚度,以防止外压作用下的强度失效和变形超标;为隔绝大气,真空室壳体的制造不仅有专门的工艺要求,而且真空设备各部件连接处、电源和讯号的引入端、转动轴、大门、盖等处应具有可靠的真空密封设计,以将漏气率限制在许可范围内。行业应用表明,正确地设计真空室的各种结构和机构,并且选择适当的密封方法是决定真空室检漏适应性能好坏的关键。本文以带光学斜锥筒的卧式真空容器回转壳体、多自由度双轴铰链开门机构和可互换穿舱密封盖设计为例,从结构设计和机构分析的不同视角,阐述了有利于提高检漏性能的真空室设计方法。
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