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为了分析微电机的动力学特性,不仅需要知道其内部的电性引力,还需要确定其内部的微磨擦力的大小.本文提出了一种微磨擦参数提取的人工神经网络模型,通过该模型可以方便地得到指定加工工艺的微电机的微摩擦系数.与实际结果比较表明,该模型可以用于微电机仿真系统.
微电机的微磨擦参数的提取和仿真
【摘 要】
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为了分析微电机的动力学特性,不仅需要知道其内部的电性引力,还需要确定其内部的微磨擦力的大小.本文提出了一种微磨擦参数提取的人工神经网络模型,通过该模型可以方便地得到
【机 构】
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中国科学院上海冶金研究所,传感技术国家重点实验室(上海)
【出 处】
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第十二届全国半导体集成电路硅材料学术会议
【发表日期】
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2001年期
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