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本文利用Ku-波段MEMS单刀单掷膜开关和成熟的微带线技术设计了一种Ku-波段MEMS单刀双掷膜开关.模拟结果为阈值电压19V左右,工作于Ku-波段(8～12)GHz,在中心频率15GHz处,导通开关的插入损耗为-0.15dB,截止开关的隔离度为-33dB,开关的回波损耗为-27dB.
Ku-波段MEMS单刀双掷开关的设计与模拟
【摘 要】
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本文利用Ku-波段MEMS单刀单掷膜开关和成熟的微带线技术设计了一种Ku-波段MEMS单刀双掷膜开关.模拟结果为阈值电压19V左右,工作于Ku-波段(8～12)GHz,在中心频率15GHz处,导
【机 构】
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东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096
【出 处】
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中国微米纳米技术第七届学术年会
【发表日期】
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2005年期
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