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本文建立了刻蚀酸（HF与NH4F的体积比为1：6）中阴离子型氟化物表面活性剂(FC-93)的方法。样品通过IonPac NG 1柱后，表面活性剂与HF基体分离。IonPac NG 1柱是一种聚合物反相柱，能够定量的保留表面活性剂，但对无机阴离子却没有保留。然后将浓缩的表面活性剂由IonPac NG 1柱淋洗到OmniPac PAX-500柱体上。在本实验中用氢氧化钠和乙腈为淋洗液，用化学抑制模式的电导检测器进行检测。