论文部分内容阅读
采用微加工技术研制了一种以硅为基底材料,具有三维立体结构的酞菁锌(ZnPc)薄膜型气体传感器。阐述了该传感器的工作原理、结构设计、工艺流程以及特性分析。研究表明:与传统的气体传感器相比,此种传感器具有灵敏度高、响应快、低功耗的特点。
硅基微结构酞菁锌薄膜气体传感器
【摘 要】
：
采用微加工技术研制了一种以硅为基底材料,具有三维立体结构的酞菁锌(ZnPc)薄膜型气体传感器。阐述了该传感器的工作原理、结构设计、工艺流程以及特性分析。研究表明:与传统
【发表日期】
：
2004年期
其他文献
徐訏是中国新文学史上一位创作成就特别突出的作家，文章试图对徐訏研究的历史与现状进行梳理与概括，使得读者对徐訏研究状况有一个整个认识，从而对徐訏做进一步的研究．
当前煤矿快速掘进技术得到了深入研究,提出了更为高效的掘进工艺,其中连续采煤机掘进工艺为主要的技术方法。实际开采作业中,为了充分保障开采作业的效率及安全性,企业应采用
目的：研究肝病患者血硒水平及与HBVM阳性状况的关系。方法：分析肝癌、肝硬化和慢性乙型活动性肝炎患者血硒水平和HBVM阳性状况相关性。结果：肝癌患者血硒水平显著小于肝硬化和慢
阐述了６７８箱集箱多用途船动力装置的特点和主要设备的选型，对轴带发电系统、辅柴油机转速、热油系统、环境保护等也作了介绍。
日本平安时期的文学深受中国汉唐文化的影响,有着“和魂汉才”之称的日本古典文学作品《源氏物语》正是产生于这个时期。而在这其中,唐代文学的杰出代表白居易的影响尤为突出
乾隆帝是中国历史上最为长寿的帝王,他的健康长寿与优渥的宫廷生活、优良的医疗条件等有着密切的关系,但同时与他丰富多彩的闲暇生活有极大关系。作为乾隆帝研究的重要组成部
本文以江苏警官学院法化学专业方向的学生为主体,进行与现代毒物分析相关的探索性实验设计研究。文中讨论了探索性实验内容设计、实验操作形式、操作步骤设计等关键因素,提出
本文对国内外零价铁（ZVI）修复地下水中TCE的方法进行了总结,从TCE及ZVI的性质,国内外研究进展进行了综述,指出了目前存在的问题及今后的发展方向。
综述了2011年国际重载协会理事会和专家技术会议的情况,介绍了参观加拿大太平洋铁路公司编组场、网络管理中心和集装箱联运站的情况,简述了加拿大、澳大利亚、南非、俄罗斯等
绿色表面活性剂是由天然再生资源加工而成的对人体刺激小,易生物降解的表面活性剂。随着科技的进步和人们生活的富足,大家对＂绿色＂的追求越来越多。本文通过整理,向大家展示了