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随着平板显示器（ＦＰＤ）产业的迅速发展，对ＩＴＯ透明导电玻璃的需求理亦日益增长。该文分析了影响ＩＴＯ膜性能的几个主要工艺参数，提出了适用于大量生产ＩＴＯ膜的连续磁控溅射镀膜生产线的技术要求和设计方案，并给出了国产生产线所生产的透明导电玻璃的技术性能指标。最后指出了ＩＴＯ膜生产技术的今后发展方向。