【摘 要】
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采用磁控和离子束联合溅射制备了NdFeB/α-Fe/NdFeB纳米复合永磁薄膜,并对其进行了热处理,主要考察了热处理温度对薄膜磁性能的影响.结果表明,热处理温度对薄膜磁性能有显著
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采用磁控和离子束联合溅射制备了NdFeB/α-Fe/NdFeB纳米复合永磁薄膜,并对其进行了热处理,主要考察了热处理温度对薄膜磁性能的影响.结果表明,热处理温度对薄膜磁性能有显著影响.随着热处理温度的升高,薄膜的磁性能逐渐升高,但当温度上升到700℃时,薄膜的磁性能迅速下降.最佳退火处理温度为650℃.
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