【摘 要】
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微波功率器件是微电子装备的核心和关键.其可靠性直接决定和影响着电子装备或组件的可靠性或使用寿命,器件金属化系统的质量又决定了微波功率器件的可靠性,要提高或保证微波
【机 构】
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北京有色金属研究总院,北京,100088
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微波功率器件是微电子装备的核心和关键.其可靠性直接决定和影响着电子装备或组件的可靠性或使用寿命,器件金属化系统的质量又决定了微波功率器件的可靠性,要提高或保证微波功率器件的可靠性或使用寿命,必须采用多层难熔金属薄膜金属化系统.WTi是其中起扩散阻挡作用的必不可少的金属层,其质量的好坏直接决定了器件的可靠性.目前,金属化系统膜层是采用溅射沉积制备的,因此高质量的WTi溅射靶材是得到高性能WTi薄膜的前提.
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