不同基体上沉积类金刚石膜的摩擦磨损性能研究

来源 :中国核学会2011年年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yuan398699360

【摘要】

：

采用脉冲辉光放电等离子体气相沉积法和阴极弧放电方法分别以硬质合金K10、硅片、Gcr15钢和316LN不锈钢作为基体,在其表面成功沉积性能优越的DLC膜.利用拉曼光谱仪、X射线光电子能谱仪、光学显微镜、显微硬度计和摩擦磨损试验机分别对膜层组成和微观结构及力学性能进行了表征.研究发现:通过该种方法可以在不同基体上制备表面光滑致密、摩擦系数低至0.099、sp3含量高达60.7％的DLC膜.无论哪种基

【作者】

：

杨发展沈丽如颜复秀陈庆川王世庆

【机构】

：

核工业西南物理研究院,四川成都,610041 核工业西南物理研究院,四川成都,610041 成都理

【出处】

：

中国核学会2011年年会

【发表日期】

：

2011年3期

【关键词】

：

diamond like carbon (DLC) films plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD

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