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概述了适用于惯导系统的单晶硅加速度计的设计思路和基本结构,并介绍了加速度计的核心部件单晶硅摆片和伺服线路的制造技术.测量结果表明,该加速度计的精度达到了5×10<-5>,具有广泛的用途.
高精度单晶硅加速度计
【摘 要】
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概述了适用于惯导系统的单晶硅加速度计的设计思路和基本结构,并介绍了加速度计的核心部件单晶硅摆片和伺服线路的制造技术.测量结果表明,该加速度计的精度达到了5×10,具有广泛的用途.
【机 构】
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西安飞行自动控制研究所(西安)
【出 处】
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第五届全国微米/纳米技术学术会议
【发表日期】
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2001年8期
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