【摘 要】
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本文报道在蓝宝石基片上采用CeO2作为缓冲层制备TI2Ba2caCu2O8超导薄膜.采用射频磁控溅射的方法生长CeO2缓冲层,分别使用了氧化铈和金属铈作为溅射靶材.测试结果表明,在最优
【机 构】
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南开大学信息技术科学学院电子信息科学与技术系 天津 300071
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本文报道在蓝宝石基片上采用CeO2作为缓冲层制备TI2Ba2caCu2O8超导薄膜.采用射频磁控溅射的方法生长CeO2缓冲层,分别使用了氧化铈和金属铈作为溅射靶材.测试结果表明,在最优化生长条件下都可以生长出高度c轴取向的CeO2缓冲薄膜,且具有很好的结晶质量和表面形貌,采用金属铈溅射靶具有较高的溅射速率.
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