【摘 要】
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介绍了用于分析CO2气体的红外干涉滤光片的研制过程.探讨了膜系设计、监控方案、制备工艺条件等方面内容.并进行了膜层的机械强度及环模可靠性试验.最后给出了研制结果.
【机 构】
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中国科学院上海技术物理研究所,上海,200083
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介绍了用于分析CO2气体的红外干涉滤光片的研制过程.探讨了膜系设计、监控方案、制备工艺条件等方面内容.并进行了膜层的机械强度及环模可靠性试验.最后给出了研制结果.
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