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金刚石以其优异的物理性质而成为各行业中广泛使用的新兴材料。CVD厚膜刀具又以其独特的特点而在金刚石刀具中最具应用前景,但在实际应用中,由于金刚石厚膜的抛光加工技术尚不成熟,制约了金刚石厚膜刀具的应用。本文主要介绍了金刚石厚膜刀具制造中关键技术:金刚石厚膜抛光光整加工。本文详细研究比较了机械抛光、电化学抛光、化学辅助机械抛光、电蚀抛光和激光抛光等工艺方法的原理、特点和适用范围。本文最后提出了激光辅助机械抛光的新思路。