国内溅射靶材发展与应用

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【摘要】

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<正>0前言20世纪90年代以来靶材已蓬勃发展成为一个专业化产业,中国及亚太地区靶材的需求占有世界70%以上的市场份额。大量不同的沉积技术用来沉积生长各种薄膜,而靶材是制作

【作者】

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周鸿奎

【机构】

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深圳市矽谷溅射靶材有限公司;

【发表日期】

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2012年期

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<正>0前言20世纪90年代以来靶材已蓬勃发展成为一个专业化产业,中国及亚太地区靶材的需求占有世界70%以上的市场份额。大量不同的沉积技术用来沉积生长各种薄膜,而靶材是制作薄膜的关键,品质的好坏对薄膜的意义重大。目前高端品质靶材主要由:日本、德国和美国生产,我国靶材产业起步较晚,在产品质量与精细标准上与国外有不少的差距,国内也有许多大学及研究机构对靶材积极投入了大量钻研与开发,经过这几年的发展也涌现了一批在靶材行业优秀的公司和院校。在国内占据了大部分中等和要求不高的靶材市场份额。

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