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为研究激光刻蚀聚酰亚胺基底镀铝薄膜的作用机理，本文采用SSB理论模型模拟了一定条件下激光与铝膜/聚酰亚胺材料体系的相互作用过程，采用1064nm激光对聚酰亚胺基底上铝薄膜进行了刻蚀实验。采用原子力显微镜与扫描电镜对实验样品进行检测，对比实际刻蚀结果与模拟计算结果，分析认为，激光作用于铝薄膜后，铝薄膜吸收部分能量并转换为热，此时光热机理起主导作用；随着铝薄膜表面温度升高并向更深层传导热，当界面温度大于聚酰亚胺热分解温度时，界面处的聚酰亚胺材料将出现受热分解，此过程光化学机理起主导作用，随后汽化产生的压力使铝薄膜向上隆起，悬浮的铝薄膜温度进一步升高并气化，此时光热机理又起主导作用。