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PVD硬质薄膜的膜层质量与稳定性控制因素(Ⅰ):工件偏压
【机 构】
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等离子体表面技术与设备研究所,哈尔滨工业大学 先进焊接与连接国家重点实验室
【出 处】
:
2014年广东省真空学会学术年会
【发表日期】
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2014年期
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