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通过改变比较不同稀土元素的掺杂效果,研究了轻稀土元素Nd,Pr和Ce的掺杂对TbFeCo薄膜磁光性能的影响.结果表明,在TbFeCo薄膜中掺入一定量的轻稀土元素,可改善薄膜的磁光性能,提高薄膜的本征克尔角、矫顽力和矩形度.其中,Nd掺杂的效果最好,掺杂后薄膜的磁光克尔角可达0.47°,矫顽力可达3.4×105A·m-1.