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该文介绍了ＩｎＳｂ薄膜制备技术的研究成果，阐述了ＩｎＳｂ薄膜的工艺机理与制备技术，指出了制备ＩｎＳｂ薄膜所解决的关键技术，并总结了制备ＩｎＳｂ薄膜的工艺条件和实验结果。
ＩｎＳｂ薄膜制备技术的研究
【摘 要】
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该文介绍了ＩｎＳｂ薄膜制备技术的研究成果，阐述了ＩｎＳｂ薄膜的工艺机理与制备技术，指出了制备ＩｎＳｂ薄膜所解决的关键技术，并总结了制备ＩｎＳｂ薄膜的工艺条件和实验结果。
【机 构】
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仪器仪表工艺研究所
【出 处】
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中国仪器仪表学会'96沈阳传感器及应用学术会议
【发表日期】
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1996年期
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