LCoS(Liquid Crystalon Silicon)技术是硅基CMOS半导体集成电路技术和液晶显示技术相结合的新技术。这两项技术将驱动电路,控制电路以及信息处理系统集成到屏上,实现高度集成化。LCoS显示因具有高密度、高分辨率、高开口率、高亮度、轻薄及成本低等优点。液晶显示模式有许多种,目前已报道的适用于LCoS显示器的液晶模式主要有扭曲向列(TN)模式、垂直取向(VA)模式、铁电液晶显示(FLC)模式。其中VA模式也叫垂直排列取向,对于入射光波长,液晶层厚度,和工作温度并不敏感。在透射式和反射式显示中,VA模式不仅被证明具有高对比度,同时还具有比平行取向及TN模式更快的响应速度。本文从解决实际工艺所遇问题的角度出发,针对VA模式,利用仿真软件模拟预倾角、盒厚等因素对LCoS显示效果的影响,得到电光曲线,驱动电压,对比度等参数。为了避免芯片表面电极出现短路等问题,文中提出在铝电极加入钝化层的想法,并如图1所示,建立模型,计算在铝电极表面加上钝化层后,对反射显示器光学特性的影响,为实际制备芯片的相关工艺提供理论依据。最后在未放置补偿片的情况下,通过偏振分光棱镜(PBS)产生偏振光,改变光学延迟量以及入射偏振光方向与临近液晶层取向夹角达到测试的目的,得到实际的电光曲线,与仿真曲线进行比较,得出结论,提出改进意见。以上研究结果为硅基液晶显示器在实际开发中所遇到的问题提供了一定的理论依据和解决方法。