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ZEISS扫描电镜特点及在失效分析中的应用

来源 :全国第五届航空航天装备失效分析研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ydaf9ta7

【摘 要】

：

本文介绍了ZEISS扫描电镜特点及在失效分析中的应用.ZEISS扫描电子显微镜的研究与生产具有悠久的历史,其先进的结构设计、卓越的技术性能为世人所瞩目.ZEISS扫描电镜的高分辨

【作 者】

：

傅国如 张顺勇 

【机 构】

：

北京航空工程技术研究中心,北京,100076励精科技(上海)有限公司,上海,200031

【出 处】

：

全国第五届航空航天装备失效分析研讨会

【发表日期】

：

2006年2期

【关键词】

：

扫描电子显微镜 低真空模式 失效分析 成像特征 

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本文介绍了ZEISS扫描电镜特点及在失效分析中的应用.ZEISS扫描电子显微镜的研究与生产具有悠久的历史,其先进的结构设计、卓越的技术性能为世人所瞩目.ZEISS扫描电镜的高分辨、低电压性能、低真空模式等特点,解决了失效分析和材料研究中纳米材料等新材料对分辨率要求高、不导电材料和含水材料成像性能差的技术难题,得到了广泛的应用.

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