【摘 要】
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用攀钢工业VO溶胶-凝胶为原料,采用不同涂膜方法、在不同衬底上制备出工业VO半导体薄膜.研究了薄膜的电阻率与各种因素的关系.结果表明:热处理条件、放置时间、环境温度、湿度以及涂膜方法对VO薄膜电阻率均有较大影响.所制VO薄膜是一种很好的半导体薄膜材料.
【机 构】
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重庆大学材料科学与工程学院(重庆) 攀枝花钢铁研究院(四川攀枝花)
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用攀钢工业V<,2>O<,5>溶胶-凝胶为原料,采<1>用不同涂膜方法、在不同衬底上制备出工业V<,2>O<,5>半导体薄膜.研究了薄膜的电阻率与各种因素的关系.结果表明:热处理条件、放置时间、环境温度、湿度以及涂膜方法对V<,2>O<,5>薄膜电阻率均有较大影响.所制V<,2>O<,5>薄膜是一种很好的半导体薄膜材料.
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