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Investigation of Photoluminescence Induced by Si Nanocrystals in Plasma-Enhanced Chemical Vapor Depo
【机 构】
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Nuclear Science and Technology Development Center, National Tsing Hua University, Hsinchu 300, Taiwa
【出 处】
：
The 11th International Workshop on Plasma-Based Ion Implanta
【发表日期】
：
2011年期
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