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采用磁控溅射法在不锈钢、玻璃、单晶Si及Al2O3四种基底上制备了不同调制波长的Ni/Al纳米多层膜，用MTS的纳米压入仪的连续刚度法研究了不同基底上薄膜硬度测量值随压入深度的演变。结果表明，对软膜-硬基体系在压入深度较大时其硬度测量值偏大是由于经典的O&P法忽略了Pile-up的影响；对硬膜-软基体系，为避免基底屈服的影响其本征硬度宜在压入深度较浅时提取；对纳米多层膜，随着调制波长减小薄膜硬度增大，膜基体系可能由软膜-硬基体系过渡为硬膜-软基体系，此时提取薄膜本征硬度尤应注意选取合适的压入深度范围。