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<正>本文利用反应磁控溅射方法在晶格匹配的ZnO衬底上外延生长出单一六方相的Mg0.49Zn0.51O薄膜,并制备了金属-半导体-金属结构的日盲型探测器。计算和实验结果均表明厚膜MgZnO可以抑制ZnO衬底信号,从而实现日盲信号的探测。采用2μm厚的MgZnO薄膜制
基于氧化锌衬底的MgZnO日盲探测器
【摘 要】
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<正>本文利用反应磁控溅射方法在晶格匹配的ZnO衬底上外延生长出单一六方相的Mg0.49Zn0.51O薄膜,并制备了金属-半导体-金属结构的日盲型探测器。计算和实验结果均表明厚膜MgZ
【机 构】
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中科院福建物质结构研究所;
【发表日期】
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2004年期
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